神視SUNX晶圓定位傳感器簡(jiǎn)介

特點(diǎn)

安全性的LED式

以往使用激光的激光式定位傳感器，激光會(huì)從加載口內(nèi)側(cè)穿過FOUP直射操作人員，十分危險(xiǎn)。

M-DW1成功使用LED光源。確保操作人員安全。

安全性的LED式

亦可檢測(cè)玻璃晶圓

M-DW1以反射光的位置來檢測(cè)，不管反射光量的多少都能檢測(cè)出玻璃晶圓。

亦可檢測(cè)玻璃晶圓

可檢測(cè)涂氮晶圓

氮化膜具有可吸收特定波長(zhǎng)光的性質(zhì)，吸收的波長(zhǎng)因氮化膜的厚度而不同。因此，對(duì)于使用單波長(zhǎng)激光的傳感器，可能會(huì)因光全被吸收而無法檢測(cè)。

而LED光源的光具有一定波長(zhǎng)段，即使氮化膜晶圓也可準(zhǔn)確檢測(cè)。

0.5ms的高速反應(yīng)

實(shí)現(xiàn)0.5ms的高速反應(yīng)。兼顧高速反應(yīng)性和高精度。

基于2段受光元件的高精度位置檢測(cè)

利用反射光量檢測(cè)時(shí)，反射光量和晶圓的邊緣形狀會(huì)影響檢測(cè)結(jié)果。M-DW1的受光部使用2段受光元件，通過反射光位置而非反射光量進(jìn)行檢測(cè)。因此，受晶圓厚度和反射光量的影響較小。

基于2段受光元件的高精度位置檢測(cè)

可從四個(gè)方向引出電纜

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傳感器可以從正前方、右側(cè)、左側(cè)、下方四個(gè)方向引出電纜?？筛鶕?jù)傳感器的設(shè)置情況靈活調(diào)節(jié)。

可從四個(gè)方向引出電纜

內(nèi)置放大器的小巧、輕盈型

尺寸為寬度80.6mm×厚度18.3mm×進(jìn)深50mm，約為75g的小巧、輕盈型。

內(nèi)置放大器的小巧、輕盈型

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